Моделирование диффузионных процессов изотермической жидкофазной эпитаксии полупроводников
Диссертация
Автор: Савченко, Владислав Анатольевич
Название: Моделирование диффузионных процессов изотермической жидкофазной эпитаксии полупроводников
Справка: Савченко, Владислав Анатольевич. Моделирование диффузионных процессов изотермической жидкофазной эпитаксии полупроводников : диссертация кандидата технических наук : 05.27.06 Воронеж, 2000 135 c. : 61 01-5/2-8