Автореферат

Автор: Голод, Сергей Владиславович

Название: Методы формирования трёхмерных микро- и наноструктур на основе напряжённых SiGe/Si плёнок

Справка: Голод, Сергей Владиславович. Методы формирования трёхмерных микро- и наноструктур на основе напряжённых SiGe/Si плёнок : автореферат дис. кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Ин-т физики полупроводников СО РАН Новосибирск, 2006 23 c. : 9 06-13/942-5 9 06-13/943-3

Объем: 23 стр.

Информация: Новосибирск, 2006

Скачивание файла!

Для скачивания файла вам нужно ввести
E-Mail: 4142
Пароль: 4142
Скачать файл.